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光电轮廓仪

光电轮廓仪

光电轮廓仪

产品编号:WGL
产品品牌: 国产   

本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工作表面,能快速测得各种工作表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及图形结构测量等。仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果。